平面電機由定子和轉子組成。與傳統步進電機相比，其特殊性在於展開定子。定子是基本平臺，轉子和定子之間有氣墊。轉子懸浮在氣墊上，而可編程軸承平臺安裝在轉子上。
這種結構的x-y工作臺由於轉子和定子之間沒有相對摩擦，所以沒有磨損，使用壽命長。
對於生銹的定子，可用天然油石沿壹個方向輕輕打磨定子表面，然後用蘸有煤油的脫脂棉球清洗幹凈。整個過程要非常小心的操作，不要讓定子表面不平整。
此外，無腐蝕性且不損壞定子的除銹劑也可用於除銹。正常情況下，定子應定期清洗。清潔時，應引入空氣以促進轉子的運動。方法是用脫脂棉蘸95%多壹點的無水乙醇，輕輕擦拭定子表面。
然後用專用工具撬動起動機。方法同前，輕輕擦拭動子表面。動子表面有幾個氣孔，是定子和動子之間壓縮空氣的孔。觀察從這些氣孔出來的空氣是否均勻。
否則，用工具小心擰松小孔內的預埋氣孔螺母，檢查是否有雜質堵塞氣孔，處理後恢復預埋氣孔螺母的原狀。
要特別註意不要在沒有壓縮空氣的情況下強行拉動轉子，以免造成定子和轉子的損壞。
平面電機應在環境溫度為15 ~ 25℃，相對濕度小於50%的環境中使用。所需壓縮空氣必須經過幹燥和過濾，與環境空氣的溫差小於5℃，氣壓為0.4±0.04 MPa。