1. 機床系統誤差，受機床本位產生的形位公差，如伺服單元，驅動裝置產生的重復定位誤差，主要由系統受機床脈沖當量大小，均勻度及傳動路線影響。
2. 編程誤差，即在用直線或圓弧段逼近零件輪廓時產生的誤差，這是影響零件工精度的壹個重要原因。
3. 測量誤差，受量具測量精度及測量者操作方法的影響，導致實測尺寸不準確。
4. 刀具磨損誤差，所加工零件的材料以及刀具本身的材料在高溫高剪切力的環境下，容易受較大的磨損所產生誤差。
5. 刀尖圓弧誤差，在切削內孔，外圓或端面或錐面時，刀尖圓弧影響過切或少切的情況。
6. 對刀誤差。在移動到起刀點位置時受操作系統的進給修調比例值所引起。
7. 反向失動量引起的誤差，雕刻機由於機械間隙與傳動部件的彈性形變。