89S51 在工藝上進行了改進，89S51 采用 0.35um 新工藝，成本降低,而且將功能提升,增加了競爭力。89SXX 可以像下兼容89CXX 等51 系列芯片。市場上見到的89C51 實際都是Atmel 前期生產的巨量庫存而以。如果市場需要，Atmel當然也可以再恢復生產AT89C51。 AT89S51/LS51單片機是低功耗的、具有4KB在線課編程Flash存儲器的單片機。它與通用80C51系列單片機的指令系統和引腳兼容。片內的Flash可允許在線重新編程，也可使用非易失性存儲器編程。他將通用CPU和在線可編程Flash集成在壹個芯片上，形成了功能強大、使用靈活和具有較高性能性價比的微控制器。
AT89S51/LS51具有如下特性：
--指令架構：CISC（復雜指令）
--最大吞吐量：3MIPS
--片內程序存儲器含有4KB的Flash存儲器，允許在線編程，檫寫周期可達1000次；
--片內數據存儲器內含128字節的RAM；
--I/O口具有32根可編程I/O線；
--具有兩個16位I/O線；
--中斷系統具有6個中斷源、5個終端矢量、2個中斷優先級的中斷結構；
--串行口是壹個全雙工的串行通信口；--具有兩個數據指針DPTR0和DPTR1；
--低功耗節電模式有節電模式和掉電模式；
--包含3級程序鎖定位；
--AT89S51的電源電壓為4.0-5.5V，AT89LS51的電源電壓為2.7-4.0V；
--振蕩器頻率0-33MHz（AT89S51），0-16MHz(A-T89LS51);
--具有片內看門狗定時器（WatchDog）；
--靈活的在線片內編程模式（字節和頁編程模式）；
--具有斷電標誌模式POF.
--具有6個中斷源
--具有2個計數/定時器
--具有1個串口