封裝之後的測試不熟,有FT、SLT等,具體不詳,yield map壹類,以前在fab的時候,看到的是結果,具體測法不詳,說壹下fab芯片制造完成之後的測試吧。
1,出廠必測的WAT,wafer acceptance test,主要是電性能測試,每壹類晶體管的參數,電壓電容電阻等,每壹層金屬的電阻,層間的電容等,12寸廠的晶圓抽測9顆樣點,均勻分布在整個wafer上,答主熟悉的55nm技術,每壹個樣點上必測70~120個參數,整片wafer測完約需要10~15分鐘,設備主要是安捷倫和東電的;
2,在晶圓制造過程中監測膜厚、線寬等,膜厚是13點,線寬是9點;
3,光學鏡頭芯片還會測試wafer的翹曲度、整體厚度值,要配合後端芯片的再制備;
4,在測試芯片(非生產性正常檢測)的時候,還會測試NBTI、TDDB、GOV等;
5,其他根據芯片特性的測試。