三坐標測量基本步驟如下
校驗測頭，將測頭的直徑誤差控制在-3個微米以內，形狀誤差控制在正負3個微米以內，進入測量模式畫面；先測工件的壹個平面，將這個平面設為壹個基準平面A，再測壹條線，設為基準B，再測壹個點作為基準C
開始測工件所需尺寸，通過關系轉換可以得出結果，測量工件的外形尺寸，可以通過點與點之間的距離，在“構造”窗口裏，選擇“構造-條線”按鈕來得出結果，因為線與線之間得不出這個結果；
找基準原點C時，還可用工作分中的相交點作為C基準，這個方法是，先測工件的四條線，在“構造”窗口中，選擇“構造對稱線”按鈕，再選擇對稱兩條線之間的關系；這兩條對稱線之間的中心線就出來了，另外兩條線方法壹樣，完成之後，在“關系”裏，選擇兩條中心線，交點會顯示出來，選這個交點作為基準C。
其中任意壹條中心線還可以作為基準B。查看形位公差，要註意先選基準再選被測。；孔的位置度，如果有配合的情況下選MMC最大實體，沒有配合的情況下選S獨立原則，在孔測完成之後，要輸入理論值（即名義值），也就是圖紙上要求的公差範圍，機器會自動算出合格與否。
三坐標測量機操作流程
做好開機前的準備；車間開啟空調，保持測量室內溫度在20±2°C,濕度必須控制在40%-60%；清洗導軌，使用無塵布蘸取微量無水酒精擦洗X、Y、Z軸導軌，切記擦洗導軌面的時候應單向進行擦拭，切勿來回擦拭。
註意壹點，在擦洗X向導軌時，光柵尺部位不能沾有水跡，測量儀的主副腿及橫梁塗覆層部位的清潔要使用幹的無塵布，不要用酒精擦洗，以免漆層脫落；清理並檢查工作臺面上的物件保持臺面無雜物，並用無塵布蘸取無水酒精清洗操作臺面。
二：開機
（三坐標測量機在長期停機的情況下，測量前的溫度應在20±2°C恒溫30分鐘後才可以進行測試）打開測量機上的空氣閥，並保證工作氣壓在0.4-0.6Mpa範圍內；接通電源，並打開測量機的電源開關；開啟計算機，打開桌面上的PC-DIMS軟件，並以管理員身份運行；
打開操作手柄按壓SERVO PWR ON開關，接著測量儀加電，按照軟件窗口的文字提示進行測量儀位置歸零。；進行測量機校驗，點擊PC-DIMS軟件上的文件菜單，並新建測頭文件，鼠標點擊未定義測頭，依次加載測座，連接桿、加長桿、測頭型號，然後按照測量所需。
添加合適的測量角度，安置好標準球(標準球放置適當位置，避免測量機測量範圍超程)，點擊測量，按軟件窗口提示的內容進行校驗，校驗完成後點擊結果進行查看，測針校準時的形狀誤差必須控制在＜0.005mm的範圍內。
球心位置誤差控制在＜0.006mm的範圍內，球徑測量誤差控制在＜0.003mm的範圍內，如果校驗結果不滿足上述條件，則需重新校驗直到產品合格為止；加載所需要的測頭文件，並進行工件檢測。
三：關機步驟
在我們測量操作完成後，需要將X、Y、Z軸運動到安全的位置和高度後，按照與開機相反的順序，關閉PC-DIMS軟件及計算機，然後關閉控制盒電源，最後關閉氣閥。