組成:設備真空系統主要由真空室、泵系統、控制閥和熱交換器組成。泵系統由機械泵、維護泵、羅茨泵和擴散泵組成。閥門包括前級閥(碟閥)、旁通閥(碟閥)、維護泵閥(碟閥)和高閥(平板閥)。所有閥門均為氣動閥門，由PLC控制。加熱室主要由不銹鋼加熱室外殼、不銹鋼反射器、加熱器、陶瓷絕緣體、水冷電極、爐膛等組成。