掃描電鏡是壹種利用高能聚焦電子束掃描樣品表面，從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。
所以其使用電子束為照明源，電子束在樣品表面掃描，利用電子和物質作用所產生的信息結合電子光學原理進行成像。判斷掃描電鏡性能主要依據分辨率和有效放大倍數。分辨率即能夠分辨的最小距離。掃描電子顯微鏡主要用於各種材料的微觀分析和成分分析，已經成為材料科學、生命科學和各生產部門質量控制中不可缺少的工具之壹。
掃描電子顯微鏡與其他近代測試技術相結合用來研究原材料的礦物結構形態與材料工藝、性能的關系；研究材料的微觀結構、物相組成與其性能的關系；尋找改進材質的途徑和研制預見性的新材料，進行品質管理、異物分析、失效分析等工作。
掃描電子顯微鏡的特點介紹
1、儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節，采用LaB6電子槍，可以進壹步提高到3nm。
2、儀器放大倍數變化範圍大，且能連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數下也可獲得壹般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。
3、觀察樣品的景深大，市場大，圖像富有立體感，可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等，使人具有親臨微觀世界現場之感。
4、樣品制備簡單，只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理，就可直接放到掃描電鏡中進行觀察，因而更接近於物質的自然狀態。
以上內容參考：百度百科-掃描電子顯微鏡