陸地熱流測量始於1939年，是由A.E.本菲爾德在南非大陸上所做的測定。而海底熱流測量則較晚，始於50年代初。1950年，A.馬克斯韋爾在3米長尖頭鋼管（直徑4.2厘米）的不同部位放置溫度傳感器,上端附有耐壓容器放置記錄器作為探針測量дT/дz,並用采樣器取得海底沈積物樣品測定K。1954年，E.C.布拉德作成的海底溫度梯度探針長3～5米，直徑2.5～4.0厘米，用熱電偶測量。1962年，R.傑勒德等設計出采樣器與溫度梯度探針聯合在壹起的熱流測定器，也稱為尤因型熱流測定器，使測量工作趨於簡便。海底熱流測量雖較陸地晚，但世界上的熱流測定數據中，來自大洋底的卻占90%(1968)。這主要是由於海底熱流測量容易選擇測點，而測量時間也較短的緣故。