真空鍍膜離子腐刻原理

離子腐蝕也可以稱作離子刻蝕，使用高速離子，對樣品表面轟擊，離子和目標物體表面原子碰撞，當能量轉化大於結合能，該原子可能從表面脫離。

高速離子可以是離子槍發射的離子束，離子能量和加速電壓有關；高速離子也可以由氣體電離，能量由電離電壓決定，離子向負極高速撞擊，將負極物體表面腐蝕或刻蝕。

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