以前主要使用單相電源和三相電源，均是工頻電源，電場發生火花時關斷時間慢，電弧容易燒穿本體，現在很少用了。
目前應用最多的主要是高頻電源，以諧振軟開關方式工作，兩種方案原理，調壓方式不同，分為調頻式高頻電源和調幅式高頻電源，調頻式是通過改變高頻電源的逆變頻率來調節輸出電壓，逆變頻率需要經常變化，電源容易失去賴以工作的諧振方式，造成設備工作在高頻硬開關狀態，因此大功率高頻電源采用水冷，因為發熱嚴重，水冷系統復雜，需要經常檢修，主要廠商為南京國電、浙江佳環等；調幅式電源，逆變頻率恒定不變，系統工作穩定，設備始終工作在軟開關狀態，發熱量相對小，采用水冷方式，不需要維護。
還有目前市場上少量應用有脈沖電源，相對高頻電源省電壹些，但是是兩套電源系統，成本高，系統復雜，穩定性問題還沒有解決。
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