1. **吸附法**：
- 利用活性炭、沸石等吸附材料吸附VOCs，吸附飽和後通過脫附再生或更換吸附劑。
- 沸石轉輪吸附濃縮後再進行熱力燃燒或其他後續處理。
2. **催化燃燒法**（RCO/RTO）：
- RCO（Regenerative Catalytic Oxidation）：在催化劑作用下，在較低溫度下將VOCs轉化為二氧化碳和水。
- RTO（Regenerative Thermal Oxidation）：利用陶瓷蓄熱體回收熱量，提高能源效率，高溫氧化分解VOCs。
3. **冷凝回收法**：
- 適用於高濃度VOCs廢氣，通過冷卻使部分VOCs冷凝為液體回收利用。
4. **生物法**：
- 利用微生物的代謝作用降解VOCs，適合於可生化VOCs及低濃度廢氣。
5. **光催化氧化法**：
- 在紫外光照射下，TiO2等催化劑促進VOCs與氧氣反應生成無害物質。
6. **低溫等離子體技術**：
- 高壓放電產生大量活性粒子，如電子、離子和自由基，與VOCs分子發生反應將其分解。
7. **洗滌法**：
- 使用堿液、酸液或特定溶劑吸收廢氣中的VOCs，並對吸收液進行後續處理。
8. **膜分離技術**：
- 利用選擇透過性膜，將VOCs從氣態中分離出來。
在實際操作中，可能需要根據具體情況組合使用上述多種工藝。同時，整個處理系統的設計和運行應遵循相關國家和地方的安全法規要求，包括設備防爆、防火設計，以及操作人員的防護措施、應急處理預案等，確保整個處理過程既有效又安全。